ITO界面调制层对GZO电极LED器件性能的影响

• 作者: 张建华 李喜峰 王万晶 石继峰
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: LED ITO/GZO薄膜 界面调控层
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 210-215
• 分类号: TN301
• 字数: 3999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20123302.0210

摘要

采用磁控溅射制备GZO和具有ITO界面调控层的GZO(ITO/GZO)透明导电薄膜作为大功率LED的电流扩散层,对比研究界面调控层对LED器件性能的影响.研究结果表明,ITO/GZO薄膜的透过率在可见光区达80％以上,退火后的ITO/GZO薄膜有较低的电阻率(1.15×10-3 Ω·cm).ITO调控层的介入能够调制GZO表面粗糙度,有利于改善LED外量子效率,降低GZO/p-GaN界面的接触势垒,提高LED器件的光电性能.通过ITO界面调控后,LED器件20mA驱动电流下的工作电压从9.5V降低为6.8V,发光强度从245 mcd升到297 mcd,提高了20％；驱动电流为35 mA时,其发光强度从340.5 mcd升到511 mcd,提高了50％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建华	上海大学机电工程与自动化学院	106	709	13.0	21.0
5	王万晶	上海大学机电工程与自动化学院	2	12	2.0	2.0
9	李喜峰	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	21	70	5.0	6.0
10	石继峰	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	1	9	1.0	1.0