TiNi表面磁控溅射DLC薄膜的纳米压痕与摩擦性能

• 作者: 凌智勇 刘敏 张体峰 盛新兰 许晓静 陈丹
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: TiNi基材 DLC薄膜 纳米压痕 摩擦性能 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 42-44
• 分类号: TG174.4
• 字数: 2353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2012.03.009

摘要

采用室温磁控溅射技术在TiNi合金表面制备出DLC/SiC(类金刚石/碳化硅)双层薄膜(SiC为中间层),采用拉曼光谱仪、纳米压痕仪和球-盘式摩擦磨损仪研究DLC薄膜的结构、纳米压痕和摩擦性能.结果表明:制备的DLC/SiC薄膜石墨含量高、纳米硬度(5.493 GPa)低、弹性模量(62.2447 GPa)低.在以氮化硅球(半径为2mm)为对摩件,4.9N载荷、室温、Kokubo人体模拟体液润滑下,该DLC/SiC薄膜具有低且稳定的摩擦因数,其平均值约为0.094.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许晓静	江苏大学先进成形技术研究所	227	1298	17.0	26.0
2	凌智勇	江苏大学先进成形技术研究所	54	400	12.0	17.0
3	刘敏	江苏大学先进成形技术研究所	39	142	5.0	10.0
4	陈丹	江苏大学先进成形技术研究所	16	44	5.0	6.0
5	盛新兰	江苏大学先进成形技术研究所	13	43	5.0	6.0
6	张体峰	江苏大学先进成形技术研究所	10	65	4.0	8.0