基于干涉条纹图像对比法测量微位移

• 作者: 孟伟东 甄志强 赵晓艳 闫海涛
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 相干光学 微位移 线阵CCD 图像分析
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光电信息获取与处理
• 页码范围: 1069-1072
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|O439
• 字数: 1252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0602002

摘要

研究了基于迈克尔逊干涉条纹对比法测量微位移的实验.用He-Ne激光器、反射镜和分束镜组成的干涉光路,其中一个反射镜固定在被测物体上,通过被测物体的移动带动反射镜移动使干涉光路发生变化,从而导致干涉条纹的改变.在形成干涉条纹的位置利用线阵CCD采集干涉条纹图像,用序列图像对比的方法对图像进行处理和计算,得出被测物体的微位移.实验表明利用序列图像对比的方法测量微位移,方法切实可行、测量准确度高、测量的精度能够达到微米量级.