基于原子力显微镜的微桥机械特性测量

• 作者: 丁喜冬 傅刚 曾荣耀 郑显义 陈环
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 共振频率 微机电系统 微桥 机械特性
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与测试技术
• 页码范围: 68-73
• 分类号: TH703|TH825
• 字数: 3879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.01.015

摘要

研究了基于原子力显微镜( AFM)的微桥机械特性的测量方法.通过微机电系统(MEMS)技术制备了可用静电力驱动进行机械振动的金属微桥.利用一套改进的商用AFM实验装置对测量方法进行了优化,并对微桥的共振频率进行了测量,所得实验结果与理论估算和仿真计算的结果基本一致.基于AFM的微桥机械特性的测量具有精度高和容易实现的特点,可作为测量平台扩展用于薄膜材料或微量液体的内耗、粘弹等性质的表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅刚	广州大学物理与电子工程学院	53	174	8.0	11.0
2	丁喜冬	中山大学物理科学与工程技术学院	18	60	5.0	6.0
6	陈环	广州大学物理与电子工程学院	27	89	6.0	8.0
7	郑显义	广州大学物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0
8	曾荣耀	中山大学物理科学与工程技术学院	2	3	1.0	1.0