一种小型在线非接触球面干涉仪系统设计

• 作者: 卓金寨 林健 王敏 韩振华
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉仪 半径偏差 在线检测 小型化
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 1053-1057
• 页数: 5页
• 分类号: TN247|TH744.3
• 字数: 2754字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0601009

摘要

为了实现车间球面镜片的半径偏差的在线无损检测,基于激光检测技术,提出了一种无需精密导轨的小型球面干涉仪系统的设计方案,并对整个系统的检测原理进行了分析.通过Zemax软件模拟的分析验证,该系统不仅可以测出球面面形的像散偏差和局部偏差,而且还可以快速测出球面镜的半径偏差,其演算测得的曲率半径精度优于0.01％.与目前已有的球面干 涉仪相比较,具有系统结构紧凑、无精密导轨、操作效率高和低成本的特点,特别适用于车间的在线非接触检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林健		1	1	1.0	1.0
2	王敏		1	1	1.0	1.0
3	韩振华		1	1	1.0	1.0