液晶光栅相控阵偏转波前测量方法研究

• 作者: 刘艺 吴健 杨若夫 郑春艳
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 偏转波前测量 径向剪切干涉 液晶光栅 光学相控阵
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 645-648
• 分类号: TN247
• 字数: 2161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.018

摘要

为了测试相控阵激光雷达的关键器件液晶光栅相控阵的偏转光束波前,以监控和评价雷达扫描光束的质量,采用带有光束变向功能的径向剪切干涉测量方法,进行了理论分析和实验验证,取得了口径为10mm×10mm的偏转波前测试系统与商用WYKO干涉仪的比对测试数据.两种仪器对同一块平面样板测出的波前之差的峰谷值小于λ/20,均方根值小于λ/200,还取得了实测液晶光栅相控阵不同偏转光束的波前数据.结果表明,该方法可以对液晶光栅相控阵的偏转波前进行高精度测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴健	电子科技大学光电信息学院	79	785	16.0	23.0
2	刘艺	电子科技大学物理电子学院	38	220	8.0	13.0
3	杨若夫	电子科技大学光电信息学院	11	45	3.0	6.0
4	郑春艳	电子科技大学光电信息学院	1	3	1.0	1.0