利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领

• 作者: 于海利 唐玉国 巴音贺希格 齐向东
• 来源期刊: 光谱学与光谱分析
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射光栅 分辨本领 衍射波前 泽尼克多项式
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 264-267
• 分类号: O433.4
• 字数: 3605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2012)01-0264-04

摘要

光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米,采用直接测量法难度大、成本高,利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一.在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上,建立了利用泽尼克多项式拟合系数求解衍射光栅分辨本领的归一化模型,揭示了光栅衍射波前与分辨本领的求取关系,提出了依据泽尼克多项式拟合系数求取衍射光栅分辨本领的新方法.根据该方法实测了一块衍射光栅的分辨本领,并与直接测量法进行对比测试.结果表明该方法误差小于4.42％,降低了分辨本领的测试难度,是衍射光栅分辨本领求取的有效手段,应用于ZYGO干涉仪等仪器中,通过简单的波前测试即可得到定量的衍射光栅分辨本领指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	唐玉国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	79	905	17.0	26.0
3	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
4	于海利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	92	7.0	9.0