压电双晶片扫描器的低温迟滞蠕变特性

• 作者: 张旋 潘鸣
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 红外相机 压电双晶片 低温光学 迟滞蠕变
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1064-1068
• 分类号: TN384|TN216
• 字数: 1617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122005.1064

摘要

研究了用于空间红外相机低温光学系统的压电双晶片扫描器的低温迟滞蠕变问题.压电双晶片具有行程大,不发热,在低温下仍然能够工作等优点,然而由于压电陶瓷固有的迟滞蠕变特性,使得其扫描精度受到了较大的影响.本文在常温和低温下,对所研制的压电双晶片扫描器的迟滞和蠕变特性进行实验研究和特性对比.结果显示:尽管压电双晶片扫描器的迟滞量和蠕变量均有大幅度下降,但由于总行程的下降幅度更大,使得迟滞度和蠕变系数有较大上升；120 K下的迟滞度约为300 K下的2倍,120K下的蠕变系数比300 K下的上升了一个数量级.低温下压电双晶片扫描器的迟滞和蠕变特性相比常温下更加严重,这给其在低温下的高精度应用带来了更大的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旋	中国科学院上海技术物理研究所	6	17	3.0	4.0
2	潘鸣	中国电子科技集团公司第五十研究所	12	44	4.0	6.0