高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究

• 作者: 方晓东 梁勖 游利兵 王效顺 赵家敏
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 能量稳定 比例积分算法 高重复频率 ArF准分子激光器
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光器件
• 页码范围: 763-766
• 分类号: TN248.2|TP13
• 字数: 1725字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.013

摘要

为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究.介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真.结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所	73	301	9.0	13.0
2	赵家敏	中国科学院安徽光学精密机械研究所	7	46	5.0	6.0
3	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所	26	135	8.0	10.0
4	梁勖	中国科学院安徽光学精密机械研究所	27	113	6.0	9.0
5	王效顺	中国科学院安徽光学精密机械研究所	4	23	3.0	4.0