液相基底上铝薄膜的开裂与折叠行为研究

• 作者: 余森江 周曼 江维顺 洪阳 陈苗根
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 液相基底 铝薄膜 开裂 折叠 内应力
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 25-29
• 分类号: O484.2
• 字数: 2373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.01.06

摘要

利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为.结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄膜处于较大张应力状态,伴随着张应力的释放,薄膜中出现开裂形貌.沉积完成之后,系统的逐渐冷却促使硅油基底收缩,并使得铝薄膜处于较大压应力状态,伴随着压应力的释放,薄膜中出现特征的折叠形貌.基于液相基底上金属薄膜的特殊力学行为,对此类开裂和折叠形貌进行了深入阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余森江	中国计量学院物理系	6	7	2.0	2.0
5	陈苗根	中国计量学院物理系	10	16	3.0	4.0
7	洪阳	中国计量学院物理系	2	0	0.0	0.0
8	周曼	中国计量学院物理系	1	0	0.0	0.0
9	江维顺	中国计量学院物理系	1	0	0.0	0.0