2m激光干涉测长基准装置

• 作者: 叶孝佑 孙双花 常海涛 张晓 沈雪萍 甘晓川 邹玲丁 高宏堂
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 干涉测长基准 长度量值溯源 多功能测长 双光电显微镜
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 193-197
• 分类号: TB921
• 字数: 1951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.03.01

摘要

阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用.介绍了实现纳米精度测长的技术措施.对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2 m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用.对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10 nm(1σ),1 m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20 +40 L) nm(k=2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	高宏堂		21	84	6.0	8.0
3	孙双花		25	101	6.0	9.0
4	邹玲丁		6	28	4.0	5.0
5	沈雪萍		8	35	4.0	5.0
6	甘晓川		6	42	5.0	6.0
7	常海涛		7	44	5.0	6.0
8	张晓		4	13	2.0	3.0