H2O+O2气氛下电子束蒸镀制备MgO介质保护膜特性研究

• 作者: 段冰 王鹏年 陈富贵 黄友兰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子显示屏 电子束蒸镀 MgO薄膜 H2O+O2 气氛 H2O流量
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 196-200
• 分类号: TN141.5
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.03.04

摘要

采用电子束蒸镀法在H2O+O2气氛下制备了MgO介质保护膜,通过扫描电镜、X射线衍射(XRD)等方法分析了MgO薄膜的表面、截面形貌与晶体结构,研究了不同H2O流量下得到的MgO薄膜对等离子屏放电特性的影响.结果表明:MgO薄膜呈柱状结构,随H2O流量增加MgO晶粒尺寸变大、晶界减少；XRD分析结果显示H2O+ O2气氛下,MgO薄膜除(111)晶面择优取向外,还出现了(220)晶面取向；H2O气氛的通入降低了等离子屏的维持电压、改善了放电裕度,同时缩短了寻址放电延迟时间,有利于等离子屏节能降耗和实现快速寻址.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段冰		1	3	1.0	1.0
2	王鹏年		2	3	1.0	1.0
3	陈富贵		1	3	1.0	1.0
4	黄友兰		1	3	1.0	1.0