衍射光栅刻划机的闭环控制系统

• 作者: 王亮 王英 秦绪祥 蔡锦达 颜廷萌
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 刻划机 运动控制 S3C2440A 刻划光栅 PD加前馈控制
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2416-2423
• 分类号: TG63|O436.1
• 字数: 3723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122011.2416

摘要

以S3C2440A为控制核心,设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统,实现了现场显示、实时控制等功能.用S3C2440A微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动,通过SiGNUMTM RELM直线光栅尺反馈和PD加前馈控制算法补偿由于惯性等原因造成的分度误差,并用MATLAB对使用PD加前馈控制算法的分度运动进行仿真.采用RON225增量式角度编码器反馈以补偿执行刻划运动的步进电机因失步造成的误差,通过分析和处理实验数据获得分度运动最佳速度和伺服电机在此分度运动速度下停止时的过冲距离.最后,对可能产生控制误差的原因进行了初步分析,并提出了需要进一步改进和完善之处.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亮	上海理工大学机械工程学院	22	241	10.0	15.0
2	蔡锦达	上海理工大学机械工程学院	109	525	12.0	19.0
3	秦绪祥	上海理工大学机械工程学院	6	77	4.0	6.0
4	王英	上海理工大学机械工程学院	5	31	2.0	5.0
5	颜廷萌	大连理工大学机械工程学院	2	20	2.0	2.0