透射式金属光栅耦合SPR传感器

• 作者: 刘帆 李海军 苑进社
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: SPR传感器 表面等离子体激元 金属光栅 透射 共振峰
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 新型半导体器件
• 页码范围: 452-455
• 分类号: TNP212
• 字数: 1997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.06.009

摘要

用磁控溅射技术在双面抛光的蓝宝石衬底上沉积了20 nm Ti和100 nm Au的金属薄膜,通过标准光刻工艺制备出1.6和2.0 μm两种周期结构的一维光栅表面等离子体共振(SPR)传感器.用时域有限差分算法(FDTD)模拟仿真并结合实验测试的透射光谱,研究分析了不同周期结构的金属薄膜光栅型SPR传感器的特性.基于金属光栅耦合,利用表面等离子体激元(SPP)的局域特性和光栅的选频特性,实现了SPR传感器的信号增强和滤波功能.研究结果表明,利用金属薄膜光栅表面介质的变化引起的光栅透射光谱中激发表面等离子体共振峰的位置变化,可以获得被测物体的物理、生物和化学等相关特征信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海军	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	34	115	7.0	9.0
2	刘帆	重庆师范大学物理与电子工程学院	5	8	1.0	2.0
6	苑进社	重庆师范大学物理与电子工程学院	20	32	3.0	4.0