PCVD直流脉冲频率对TiN/TiSiN复合涂层结构与性能的影响

• 作者: 宋之敏 宿福利 曾天 李洪林 李祝 高见
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/TiSiN涂层 脉冲频率 微观结构 性能
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3757字
• 语种: 中文

摘要

为了探讨频率对硬质合金基体上TiN/TiSiN复合涂层组织结构及性能的影响,选择了几个不同频率来制备TiN/TiSiN复合涂层.研究结果表明:不同频率制备TiN/TiSiN复合涂层的表面形貌都呈圆盘状颗粒,频率在30kHz-70kHz变化时,复合涂层颗粒尺寸随频率的增加而增大,均匀性随频率的增加而变差；复合涂层频率在30kHz-70kHz变化时,TiN始终在(200)方向上择优取向；硬质合金基体上,TiN/TiSiN复合涂层比单一TiN涂层的硬度提高更大,从1973 HV0.05增加到3417 HV0.05；30kHz时TiN/TiSiN复合涂层的硬度、涂层结合力和耐磨性能明显优于其他两种TiN/TiSiN复合涂层.故在硬质合金基体上,30kHz制备的TiN/TiSiN复合涂层工艺最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高见	成都工具研究所有限公司	15	224	8.0	14.0
2	宋之敏	四川大学分析测试中心	25	134	6.0	10.0
3	李祝	四川大学分析测试中心	9	98	5.0	9.0
4	曾天	四川大学分析测试中心	4	3	1.0	1.0
5	李洪林	成都工具研究所有限公司	8	56	3.0	7.0
6	宿福利	四川大学分析测试中心	2	8	1.0	2.0