硅压力传感器振动可靠性试验与评估分析

• 作者: 孙韬 张庆志 郭涛 鲍爱达
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 硅压力传感器 振动可靠性 评估分析
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与评价技术
• 页码范围: 1315-1317
• 分类号: TP202|TP212.12
• 语种: 中文

摘要

以硅压力传感器为研究对象,文中在对该压力传感器失效模式和失效机理调研的基础上,建立了压力传感器在振动应力作用下的失效物理方程,进行了以振动应力为加速因子的恒定应力加速寿命试验；结果表明,在振动应力作用下,传感器的失效物理方程为逆幂律模型；经对试验数据进行统计分析,求得了传感器在振动应力作用下的可靠性参数估计值及加速寿命方程Inη=-6.46034-4.73856(1)nS;通过对传感器进行可靠性评估,得出了传感器的平均寿命和可靠寿命分别为53246小时和23248小时.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学电子测试技术重点实验室	86	454	11.0	15.0
2	张庆志	中北大学电子测试技术重点实验室	4	32	3.0	4.0
3	鲍爱达	中北大学电子测试技术重点实验室	17	90	5.0	9.0
4	孙韬	中北大学电子测试技术重点实验室	7	17	3.0	3.0