真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现

• 作者: 刘海涛 温中泉 温志渝 范金焰 陈李
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 真空微电子 闭环控制
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 惯性技术
• 页码范围: 222-225
• 分类号: TN407
• 字数: 2462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2012.02.016

摘要

为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法.建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析.设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制.实验结果表明,在士10 m/s2)的测量范围内,加速度计的标度因数为0.212 7,满量程输出电压为0.427 3 V,非线性度≤0.98％.该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制.