硅基超薄多孔阳极氧化铝模板的制备

• 作者: 杨伟只 杨明莉
• 来源期刊: 技术与市场
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基铝膜 模板法 二次阳极氧化 纳米阵列
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 8-9
• 分类号: TB383.1
• 字数: 1625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2012.06.004

摘要

通过在硅基铝膜上用二次阳极氧化的方法,在草酸溶液中制备出了垂直于模板的高度有序的Si基超薄多孔阳极氧化铝膜,孔径70 nm,厚度可控.扫描电镜(SEM)观察表面,经过二次阳极氧化,孔洞的分布均匀性得到有效提高,孔在一定区域内呈现有序的六角分布,可以为ZnO纳米棒阵列的制备提供模板.研究了它的形成机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨明莉	重庆大学资源及环境科学学院	19	238	8.0	15.0
2	杨伟只	重庆大学资源及环境科学学院	1	1	1.0	1.0