金属间化合物Ni3Al薄膜的制备及性能研究

• 作者: 代波 王明 邢永燕 马拥军
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: Ni3Al薄膜 磁控溅射 微观结构 高温氧化性能 力学性能
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1410-1413,1417
• 页数: 5页
• 分类号: TG146.2
• 字数: 4242字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控共溅射法,在衬底温度为450℃的SiO2基体上制备了厚度为500nm的Ni3Al薄膜,X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）等测试表明,薄膜为（111）取向的L12型晶体结构金属间化合物。采用纳米压痕方法测试了薄膜的力学性能,其硬度为8.00GPa,弹性模量为200GPa。为克服亚微米级薄膜氧化增重难以测量的困难,采用四探针测试金属薄膜电阻的方法,间接给出了薄膜的腐蚀性能和高温氧化程度。结果表明Ni3Al金属间化合物薄膜的氧化速率为2.28×10-13g2/（cm4.s）,薄膜具有良好的高温抗氧化性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马拥军	西南科技大学材料科学与工程学院	17	191	6.0	13.0
2	代波	西南科技大学材料科学与工程学院	16	156	5.0	12.0
3	王明	西南科技大学材料科学与工程学院	2	9	2.0	2.0
4	邢永燕	西南科技大学材料科学与工程学院	2	10	2.0	2.0