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文献信息
| 篇名 | 玻璃磁控溅射镀膜生产线设计 | ||
| 来源期刊 | 伺服控制 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 磁控溅射 镀膜 沉积速率 工作气体气压 | ||
| 年，卷（期） | sfkz_2012,（7） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 81-83 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TS27 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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磁控溅射
镀膜
沉积速率
工作气体气压
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