泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的等径控制方法

• 作者: 杨军良 邵伟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 泡生法 大尺寸蓝宝石单晶 GMV控制 等径生长
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 253-257
• 分类号: O79
• 字数: 2939字
• 语种: 中文

摘要

在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中,为了获得高质量的晶体,精确等径控制至关重要.本文根据晶体的重量变化率来控制热场,实现晶体等径生长.设计了应用在线整定多项式权值的广义最小方差(OAPW_GMV)控制方法,并建立了系统模型.该方法的主要思想是根据在线估计的被控对象参数及OAPW_GMV的输出,调整多项式的权值,实现炉内的热场控制.仿真和实验结果表明该控制方法实现了蓝宝石单晶的精确等径控制,有效地提高了蓝宝石单晶的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨军良	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	15	75	6.0	7.0
2	邵伟	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	30	141	7.0	11.0