横向剪切干涉中剪切量的选取及分析

• 作者: 刘丙才 王春慧 王红军 田爱玲
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 横向剪切干涉 Zernike拟合 剪切量
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光电信息获取与处理
• 页码范围: 511-514
• 分类号: O439|TH744
• 字数: 1643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201233.0302002

摘要

横向剪切干涉技术是一种直接测量波面相位分布的光学测量方法,由于其不需要高精度的参考平面,并且能够测量偏离量较大的表面面形偏差,因此得到了更为广泛的应用.但是,通常情况下剪切量大小的选择凭工作经验来确定.为了给出一种定量的剪切量判定方法,论文提出了一种基于Zernike多项式拟合的剪切量判定方法,通过计算机仿真和实验给出了剪切量与测量误差的关系,发现剪切量为测量口径1/10时即可达到良好的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丙才	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	39	122	7.0	8.0
2	田爱玲	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	64	392	11.0	16.0
3	王红军	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	25	136	7.0	10.0
4	王春慧	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	8	58	5.0	7.0