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Optical Surface Monitoring系统跟踪运动靶区的位置精度和剂量精度验证
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文献信息
篇名 Effect of surface passivation on optical and electronic properties of ultrathin silicon nanosheets
来源期刊 中国科学 学科 物理学
关键词 表面钝化 光学性质 硅薄片 电子特性 超薄 密度泛函理论 硅基光电子器件 能量最低原理
年,卷(期) 2012,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1469-1474
页数 6页 分类号 O484.41
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
表面钝化
光学性质
硅薄片
电子特性
超薄
密度泛函理论
硅基光电子器件
能量最低原理
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国科学
月刊
CN 11-1789/N
出版文献量(篇)
3119
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