多层AlGaAs的时间分辨归一化反射率及各向异性反射率谱在线监测及分析

• 作者: 宁永强 张建 张建伟 张星 张金龙 徐华伟 曾玉刚 王立军
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 归-化反射率 各向异性反射率 在线监测技术 MOCVD
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备与器件物理
• 页码范围: 509-513
• 分类号: TN304.2|O484.1
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20123305.0509

摘要

通过光学在线监测技术对多层AlxGa1-xAs样品生长过程中的生长速率与表面结构进行了分析.描述了选取合适探测光子能量的方法并在线监测了样品生长过程中表面归一化反射率(Normalized Reflectance,NR)和各向异性反射率(Reflectance Anisotropy,RA)随生长时间的变化,得到了样品的时间分辨NR及RA曲线,利用光学干涉原理解释了NR曲线的振荡衰减特性.不同AlxGa1-xAs层NR曲线收敛值随Al组分的单调变化被认为是材料的折射率变化引起的,而RA值随Al组分的增加而增加说明Al原子的并入对表面光学各向异性有影响.通过拟合每一层材料的归一化反射谱振荡曲线得到了各层生长速率,与扫描电镜测试结果差别小于0.02 nm/s.对时间分辨RA曲线分析发现,生长温度对GaAs表面原子结构产生了影响.