高透光率感性网栅膜的电磁屏蔽

• 作者: 冯晓国 刘小涵 张红胜 申振峰 赵晶丽 高劲松
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高透射率网栅膜 感性网栅膜 电磁屏蔽 矩量法
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 80-87
• 分类号: O484.43|TN972
• 字数: 3684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122001.0080

摘要

在确保制作感性网栅膜后光学窗红外透射率下降小于5％的前提下,研究了影响感性网栅膜电磁屏蔽特性的主要因素.归纳了感性网栅膜红外透射率公式,运用含阻抗边界条件的谱域Galerkin法推导了周期结构金属网栅的电磁场积分方程,用周期矩量法计算出网栅的反射系数及透射系数,进而求出其电磁屏蔽效能；计算并分析了采用不同线宽、周期、衬底材料、衬底厚度时透明导电光窗(金属网栅膜)的电磁屏蔽效能.最后,采用激光直写、真空镀膜等工艺在ZnS基底上制作了周期为360 μm×360μm、线宽为12μm,方块电阻分别为13 Ω、25Ω的样片,采用自由空间法测试了2～18GHz频段的电磁屏蔽效能.测试与分析结果表明:当感性网栅膜在8～10 μm波段引起的平均透射率下降小于2％的情况下,电磁屏蔽效能平均达到了20 dB以上.结果显示网栅的光电特性是矛盾的,线宽与周期越小电磁屏蔽效果越好,同时应尽量降低网栅的表面电阻.