热原子层沉积氧化铝对硅的钝化性能及热稳定性

• 作者: 何悦 窦亚楠 褚君浩 陈绍斌 马晓光
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面钝化 热原子层沉积 氧化铝 晶硅太阳能电池
• 年，卷（期）: 2012,（24）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 512-516
• 分类号: TN304.21
• 语种: 中文

摘要

原子层沉积氧化铝已经成为应用于钝化发射极和背面点接触（PERC）型晶硅太阳能电池优异的钝化材料．对于基于丝网印刷技术的太阳能电池，钝化材料的钝化效果及其热稳定性是非常重要的．本文在太阳能级硅片上用热原子层沉积设备制备了20nm和30nm的氧化铝，少子寿命测试结果显示初始沉积的氧化铝薄膜具有一定的钝化效果，在退火后可达到100μs以上，相当于硅表面复合速度小于100cm／s．经过制备传统晶硅太阳能电池的烧结炉后，少子寿命能够保持在烧结前的一半以上，可应用于工业PERC型电池的制备．通过电子显微镜观察到了较厚的氧化铝薄膜有气泡，解释了30nm氧化铝比20nm氧化铝钝化性能和稳定性更差的异常表现．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚君浩	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	103	650	13.0	22.0
2	何悦		1	5	1.0	1.0
3	窦亚楠		1	5	1.0	1.0
4	马晓光		1	5	1.0	1.0
5	陈绍斌		1	5	1.0	1.0