PECVD布气装置气流场的模拟分析

• 作者: 朱红萍 王成刚 金捷
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体增强化学气相沉积方法 布气装置 气流场分布 模拟分析
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 制造技术/工艺装备
• 页码范围: 93-96,123
• 页数: 5页
• 分类号: TB75
• 字数: 2252字
• 语种: 中文

摘要

采用Fluent、Templot等相关软件对PECVD布气装置气流的流动过程进行模拟,并进行可视化分析；得出气流入口采用直口开孔方式,同时,气流入口到布气板距离L=4.5mm时布气最均匀,这为均匀布气装置的研制提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王成刚	上海大学机电工程及自动化学院	5	21	3.0	4.0