Novel method of separating macroporous arrays from p-type silicon substrate

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篇名	Novel method of separating macroporous arrays from p-type silicon substrate
来源期刊	半导体学报（英文版）	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2012,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	28-31
页数		分类号	TN304.05
字数		语种	英文
DOI	10.1088/1674-4926/33/4/043004

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