沉积时间对ZrTiN涂层微观结构及性能的影响

• 作者: 赵军 连云崧 邓建新 陈振 颜培
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: ZrTiN涂层 多弧离子镀 沉积时间 微观结构 性能
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程
• 页码范围: 30-34,38
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2012.05.007

摘要

采用多弧离子镀膜法,在YT15及YG8硬质合金基体上沉积ZrTiN硬质涂层,并分析涂层微观形貌、物相组成、涂层的厚度、硬度及结合力等性能参数随沉积时间的变化.结果表明:沉积时间不会影响ZrTiN涂层的晶面指数,涂层中只有单一面心立方结构相形成,且晶面指数始终为(111)；涂层的晶粒尺寸约为10nm且随沉积时间变化不大.沉积时间为120min时,涂层的显微硬度和结合力明显下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓建新	山东大学机械工程学院	164	2357	25.0	39.0
2	赵军	山东大学机械工程学院	182	2412	25.0	41.0
3	颜培	山东大学机械工程学院	12	103	6.0	10.0
4	陈振	山东大学机械工程学院	3	11	2.0	3.0
5	连云崧	山东大学机械工程学院	7	134	5.0	7.0