三氯化铁蚀刻液的蚀刻能力研究

• 作者: 于明瑶 康艳红 张刚
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 三氯化铁蚀刻液 蚀刻 蚀刻能力
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 1248-1249,1265
• 页数: 3页
• 分类号: TQ138
• 语种: 中文

摘要

研究了三氯化铁蚀刻液对铁镍合金的蚀刻能力,通过对比实验,得出三氯化铁蚀刻液的最佳刻蚀温度为40℃,40℃时,20 mL蚀刻液的最大蚀刻速度为0.021 mg·min-1·mm-2；达到有效蚀刻量46.39 g/L时,蚀刻速度为0.009 4 mg·min-1·mm-2；达到最大蚀刻量58.79 g/L时,蚀刻速度为0.002 46mg·min-1·mm-2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康艳红	沈阳师范大学旅游管理学院	50	238	8.0	14.0
2	张刚	沈阳师范大学化学与生命科学学院	5	6	2.0	2.0
6	于明瑶	沈阳师范大学化学与生命科学学院	1	2	1.0	1.0