球面干涉检测中改进的调整误差校正方法

• 作者: 杨甬英 王道档 邵卫红 陈晓钰
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 泽尼克多项式拟合 调整误差校正 球面 大数值孔径
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 光学工程
• 页码范围: 1932-1936
• 页数: 5页
• 分类号: T744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2012.10.028

摘要

根据球面干涉检测中待测球面调整误差的高阶近似模型,提出新的基于泽尼克多项式拟合的球面调整误差校正方法.该方法根据测得原始面形数据的泽尼克多项式系数以及待测面数值孔径,得到调整误差所引入的低阶和高阶像差量,实现高精度球面调整误差校正.通过Zygo干涉仪及大数值孔径待测球面对提出的校正方法进行实验验证,校正精度达到了均方根值近0.001λ、峰谷值0.011λ.实验结果表明,该方法可以实现很高的球面调整误差校正,无需了解实际调整误差量,便于自动化处理,可以降低检测装置中对待测面调节机构精度的要求.