垂直式MOCVD反应器中热泳力对浓度分布的影响分析

• 作者: 于海群 何晓崐 左然 徐楠
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD GaN 热泳力 数值模拟
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 1059-1065
• 页数: 7页
• 分类号: TN304
• 字数: 3871字
• 语种: 中文

摘要

从分子动力学理论出发,推导出垂直式MOCVD反应器中热泳力和热泳速度与温度、温度梯度、压强、粒子直径的关系式,以及热泳速度与扩散速度、动量速度平衡时的关系式.在典型的生长条件下,计算得到在温度T=605K时,热泳速度与扩散速度、动量速度动量平衡,TMGa浓度达到最大.然后在不考虑化学反应和考虑化学反应两种情况下,针对垂直式MOCVD反应器内的热泳力对粒子浓度分布和沉积的影响进行数值模拟,模拟给出反应粒子在反应器不同进口温度、衬底温度时的温度分布、浓度分布和反应速率.并与文献中的实验值进行对比,模拟结果与实验值有很好的吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0
2	于海群	江苏大学能源与动力工程学院	16	158	8.0	12.0
3	徐楠	江苏大学能源与动力工程学院	3	21	2.0	3.0
4	何晓崐	江苏大学能源与动力工程学院	2	13	1.0	2.0