光谱共焦位移传感器镜头设计研究

• 作者: 武芃樾 袁道成
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 光谱共焦 轴向色差 镜头设计
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 测试研究
• 页码范围: 81-83
• 分类号: TG249.5
• 字数: 1621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2012.02.024

摘要

光谱共焦位移传感器是一种高精度,非接触式位移传感器.本文讨论了光谱共焦法用于位移测量的基本原理,用Zemax光学设计软件完成了一个镜头组的设计,并给出了光谱共焦位移传感器镜头组的设计方法以及像差分析.该镜头组采用密接透镜结构,工作波段为486.13nm -656.27nm,测量范围约为91μm,轴向响应FWHM优于5 μm.通过线性回归分析得出波长与位移间判定系数为0.99523,在测量范围内,位移与波长间的线性关系较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁道成	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	27	190	9.0	13.0
2	武芃樾	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	3	12	2.0	3.0