脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响

• 作者: 丁学成 傅广生 李艳丽 王英龙 褚立志 赵红东 邓泽超
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光烧蚀 Monte Carlo模拟 纳米Si晶粒 交叠区
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 1049-1052
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 字数: 2750字
• 语种: 中文

摘要

采用Monte Carlo方法,对脉冲激光烧蚀所产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟.研究了不同脉冲时间间隔与交叠区位置振荡幅度之间的关系,结果表明脉冲时间间隔影响了交叠区的振荡强弱,随着脉冲时间间隔的增加,交叠区的振荡幅度减小,脉冲时间间隔为10 μs时达到最小值,而后开始增大.所得结果为进一步研究烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	邓泽超	河北大学物理科学与技术学院	48	123	6.0	8.0
3	褚立志	河北大学物理科学与技术学院	47	155	7.0	10.0
5	丁学成	河北大学物理科学与技术学院	44	89	5.0	7.0
6	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0
7	赵红东	河北工业大学信息工程学院	88	427	10.0	17.0
8	李艳丽	河北大学物理科学与技术学院	7	10	2.0	3.0