二维微纳米结构表面反射特性的时域有限差分法模拟研究

• 作者: 余彦清 王翔 褚家如
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微纳米结构表面 亚波长光栅 抗反射 时域有限差分法 模拟
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳光学材料
• 页码范围: 159-165
• 分类号: O436
• 字数: 6357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20124102.0159

摘要

亚波长微纳米结构表面具有优良的抗反射特性,本文以硅基太阳能电池响应光谱的300～1 200 nm为应用基础,利用时域有限差分法计算了表面面形、结构参量的占空比、高度和周期以及光波入射角等对二维微纳米结构表面反射特性的影响,并结合等效介质理论进行了进一步理论分析,结果表明:等截面光栅结构的反射率较大,结构参量影响也较小；锥形渐变截面光栅结构的抗反射性能较好,且反射率随着占空比、结构高度的增大而显著下降；同时,光波在光栅法线的±40°范围内入射时,反射率均较小.通过对亚波长微纳米光栅结构的反射特性的模拟和分析,为抗反射表面的设计和制作提供了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
3	余彦清	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	21	1.0	1.0