灰色理论的位移传感器标定不确定度评定

• 作者: 何伟铭 宋小奇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 标定 高精度 灰色系统理论 测量不确定度 逐次两点法
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1511-1515
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 4388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.011.009

摘要

硅晶元等高精度平面度测量时,为提高测量可信性,对所用位移传感器标定已成为业界常规.本研究针对用于基于逐次两点法(STPM)测量硅平面的两电容式位移传感器2804/3890 J设计了一种压电陶瓷标定系统,实现其标定间隔达到8nm/1 mV,提高了标定的精确度.建立基于灰色理论的GM(0,2)系统数学模型,确立待标定传感器测量结果的回归模型,以得到传感器特性的最佳估计,并确定其联合不确定度,得到被标传感器的测量不确定度的最佳评估.与传统回归模型比较,得出 GM(0,2)模型具有很好的精度,满足要求.通过STPM测量过程的模拟,得到用此传感器实施的STPM测量的测量精度约为56 nm(λ=20 nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何伟铭	上海理工大学机械工程学院	11	64	4.0	7.0
2	宋小奇	上海理工大学机械工程学院	3	24	3.0	3.0