非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用

• 作者: 姜志刚 李光 王文龙 郑艳彬
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶铟镓锌氧化物 薄膜 溅射 悬涂 喷墨印刷
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 106-110
• 分类号: TN304
• 字数: 2961字
• 语种: 中文

摘要

非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,作为一种新型透明氧化物半导体材料,最近引起了广泛关注.这主要是由于它优异的性能可以使它作为薄膜晶体管的有源层材料,在显示行业有巨大的应用前景.本文首先介绍了铟镓锌氧化物的结构,同时综述了非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备方法,包括溅射、悬涂和喷墨印刷技术；最后对基于铟镓锌氧化物薄膜晶体管背板技术的产业化进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
2	王文龙	长春中医药大学药学院	13	87	4.0	9.0
3	李光	长春中医药大学药学院	10	25	3.0	4.0
4	郑艳彬	长春中医药大学药学院	7	33	3.0	5.0