分体式激光扩束系统平行度测量装置的设计

• 作者: 张磊 郭劲
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率激光系统 分体式扩束系统 平行度测量装置 装调
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 789-795
• 分类号: TH741.14
• 字数: 4163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122004.0789

摘要

为精确测量强激光发射系统中高功率激光经分体式扩束系统后光束的传输方向,设计了一种新型分体式扩束系统输出光平行度测量装置.根据高功率激光分体式扩束系统及红外激光的特点,该装置采用高分辨率红外CCD作为监测成像设备.采用轻质高刚度的优质铝合金对装置的机械结构进行了设计,切换部件搭载在高精度线性位移平台上.基于高分辨率CCD和精密线性位移平台,该装置可较好地完成动态和静态测量.测试结果表明,该平行度测量装置工作稳定、可靠,测量精度优于2.0″；装置设计合理,实用,可为扩束系统的装调及应用提供可靠依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	307	3154	27.0	45.0
5	郭劲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	155	1436	21.0	30.0