一种新型高精度大气压力传感器的研究

• 作者: 唐胜武 贺晓雷 赵佳龙 迟晓珠
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高精度 气压传感器 温度补偿 气象
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 实验室巡礼
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TN36
• 字数: 2948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2012.06.001

摘要

采用SOI( silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性.利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵佳龙	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	46	4.0	4.0
2	贺晓雷		23	430	9.0	20.0
3	唐胜武	中国电子科技集团公司第四十九研究所	13	64	5.0	7.0
4	迟晓珠		3	20	2.0	3.0