卫星激光通信滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 张静 潘永刚
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 卫星激光通信 电子束加热蒸发 离子辅助沉积 激光损伤阈值 膜系设计
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 303-306
• 分类号: O484
• 字数: 3143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20124103.0303

摘要

为满足卫星激光通信中超高速数据传输的特殊要求,采用电子束和离子辅助沉积技术,制备了532 nm、632 nm和1064 nm波长处高反射,808 nm和1550 nm处高透射的多波段滤光膜.选取了H4和SiO2作为高低折射率材料,通过对膜系设计曲线的不断优化,减少了灵敏层的个数,得到了相对易于制备的膜系结构；采用电子束加热蒸发方法并加以离子辅助沉积系统制备薄膜,采用光控与晶控同时监控的方法控制膜厚；通过不断调整工艺,提高了薄膜的抗激光损伤能力,减小了膜厚控制误差,提高了透射波段的透过率及反射波段的反射率,最终得到了光谱性能较好的滤光膜.该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	张静	长春理工大学光电工程学院	67	132	6.0	8.0
3	潘永刚	长春理工大学光电工程学院	15	71	4.0	8.0