磁控溅射Ta-C-N薄膜摩擦学性能研究

• 作者: 严学华 尹君 程晓农
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 纳米硬度 弹性模量 摩擦系数 磨损
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 271-274,284
• 分类号: TB333
• 字数: 3455字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在Si基片上沉积非晶态Ta-C-N薄膜.利用纳米压痕仪表征其纳米硬度和弹性模量；摩擦磨损实验检测其摩擦学性能；光学轮廓仪和扫描电镜观察磨痕形貌.结果表明:Ta-C-N薄膜具有较高的纳米硬度9.45 GPa和弹性模量225.71 GPa,同时具有较低的摩擦系数0.238,磨损率5.94×10-6mm3 ·N-1·m-1,磨面较为平整光滑,体现了优越的摩擦磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程晓农	江苏大学材料科学与工程学院	344	2629	24.0	32.0
2	严学华	江苏大学材料科学与工程学院	46	410	12.0	18.0
3	尹君	江苏大学材料科学与工程学院	2	3	1.0	1.0