用于光阱刚度测量的位置传感器标定实验研究

• 作者: 曹杰 李静 杜刚 许凯
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位置传感器 压电陶瓷驱动平台 微操纵 光电探测 位移测量
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TH16
• 字数: 1658字
• 语种: 中文

摘要

对位置传感器的标定通常采用压电陶瓷平台驱动样品池,使固定在样品池底部的直径为φ2.5μm的聚苯乙烯微球穿过轴向位置不同的光阱,由位置传感器获取微球的位移信息.实验结果表明,当光阱在轴向不同位置时,传感器探测灵敏度有差别.实测中应采用微球和光阱处于相同轴向位置的标定结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许凯	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	46	375	10.0	17.0
2	李静	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	238	2528	23.0	40.0
3	曹杰	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	17	282	5.0	16.0
4	杜刚	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	8	44	3.0	6.0