条纹周期动态可调的通用型干涉仪

• 作者: 尹韶辉 朱勇建 李安虎 潘卫清 那景新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉仪 条纹周期 动态调节 光楔
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 109-116
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122001.0109

摘要

提出一种新型结构的通用型干涉仪,用于实现不同结构、不同形状的光学透镜、光学晶体等元件的快速目视观察与精确测量.该干涉仪利用可相对旋转的双光楔对条纹周期进行动态调制完成实时检测.以两块雅敏干涉平板为主体结构,在双光路中各自放入一对楔角完全相同的光楔对,建立条纹周期和条纹倾斜方向与光楔对相对旋转角度之间的关系,并采用光学晶体畴反转实时检测验证干涉仪的测量性能.试验结果表明,干涉仪的相位检测精度约为0.2 rad(λ/30),条纹周期(一对黑白条纹)为0.105～5.993mm/pair,光路中光楔对的相对转角可在0～179°调节.干涉仪具有完全对称的光路结构,由于较高的稳定性和抗干扰能力,可针对不同类型光学元件的结构特点进行条纹周期的实时调制,并可达到较高的检测精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	那景新	吉林大学汽车仿真与控制国家重点实验室	81	240	8.0	12.0
2	尹韶辉	湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室	66	540	12.0	20.0
3	李安虎	同济大学机械工程学院	17	47	3.0	6.0
4	朱勇建	湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室	13	167	6.0	12.0
8	潘卫清	浙江科技学院理学院	20	40	3.0	5.0