磁控溅射和退火制备ZnO／Si02复合薄膜

• 作者: 刘志 徐杨 施焕儒 程晓蕾 简建明
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 退火 ZnO/SiO2 复合薄膜 润湿性
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 15-20
• 分类号: TG146.1|TB383.1
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射和退火处理的方法在单晶硅衬底上制备了ZnO／SiO：复合薄膜，利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、能谱分析（EDS）和接触角测量等测试手段研究溅射气压、溅射功率、氧氩比和退火温度等对复合薄膜成分组成、组织结构及润湿性能的影响。研究表明，复合薄膜中主要有ZnO、SiO：、Zn：SiO。3种物相，且分别以六方纤锌矿结构、无定形态和硅锌矿型等形式存在。随着溅射和退火工艺的改变，复合薄膜的接触角在41°～146°问变化，组织形态由颗粒状向纳米竹叶状变化。溅射气压0．5Pa，溅射功率120W，氧氩比（O2：Ar）为0：30，退火温度为700℃的条件下获得具有六方纤锌矿结构的ZnO纳米组织，该组织呈现出竹叶状，在薄膜表面交错排列形成了无序多空隙的微观形貌，使复合薄膜具有超疏水性，接触角为146°。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐杨	中国农业大学工学院	39	394	12.0	17.0
2	简建明	中国农业大学工学院	16	74	5.0	8.0
3	施焕儒	中国农业大学工学院	5	31	4.0	5.0
4	刘志	中国农业大学工学院	6	40	4.0	6.0
5	程晓蕾	中国农业大学工学院	1	6	1.0	1.0