CVD金刚石涂层拉丝模温度场数值分析

• 作者: 卢文壮 左敦稳 张旭辉 徐锋 黄美健
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 拉丝模 温度场 数值分析
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 24-27
• 分类号: TG17
• 字数: 2873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2012.02.007

摘要

衬底温度是热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜的重要参数之一,在拉丝模表面沉积CVD金刚石涂层时,均匀的衬底温度场显得尤为重要.对HFCVD系统中制备CVD金刚石涂层时拉丝模衬底温度场进行数值分析,得到了拉丝模温度场的分布和热丝参数对衬底温度场的影响规律,为CVD金刚石涂层拉丝模的制备提供重要指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	黄美健	南京航空航天大学机电学院	2	10	2.0	2.0
5	张旭辉	南京航空航天大学机电学院	7	22	3.0	4.0