多级磁压缩脉冲电源

• 作者: 万枫 李孜
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲功率 磁压缩 磁开关 Pspice
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 118-120
• 分类号: TM154.2
• 字数: 1594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2012.01.036

摘要

阐述用于EUV光刻技术的脉冲功率电源的设计.该脉冲电源由充电电容组,半导体开关(IGBT),脉冲变压器和四级磁压缩回路组成.解释磁开关的工作原理,提供各关键元件的设计参数.根据磁性材料的物理特性参数,利用Pspice 仿真软件建立磁芯模型,构建磁开关和仿真电路,对各级电压和电流波形进行分析,进而设计调整各级磁开关的参数.实验结果表明,该脉冲电源输出峰值为30 kV,上升沿为＜85 ns,脉冲宽度＜100 ns的脉冲信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李孜	上海理工大学光电与计算机学院	30	33	3.0	4.0
2	万枫	上海理工大学光电与计算机学院	2	5	1.0	2.0