MEMS高量程微加速度计温度补偿的设计

• 作者: 徐香菊 李文燕 郭涛
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 信号采集 温度补偿 数据处理
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 智能仪表与传感器技术
• 页码范围: 2857-2859
• 分类号: TB934
• 语种: 中文

摘要

目前基于压阻式MEMS加速度计的测量精度还不是很高,为了提高其精度,文中采用TI公司新一代的数字信号处理器TMS320F2812实时操作系统,通过对复合量程微加速度计的特性分析,找出加速度计温度漂移的变化规律;采取温度补偿措施消除温度变化带来的测量误差;系统依据数字温度传感器DS18B20提供温度参数,采用最小二乘法的软件算法对测量数据进行补偿处理;该系统处理时间短,可以满足其使用要求,算法简单有效,可以显著提高测量精度;实用表明使用高速DSP器件并采用有效的信号处理方法可以显著地改善MEMS加速度计的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学电子科学与技术系仪器科学与动态测试教育部重点实验室	86	454	11.0	15.0
2	徐香菊	中北大学电子科学与技术系仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	22	3.0	4.0
3	李文燕	中北大学电子科学与技术系仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	13	2.0	3.0