高功率MPCVD金刚石膜透波窗口材料制备研究

• 作者: 于盛旺 刘艳青 唐伟忠 唐宾 申艳艳 贺志勇
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 MPCVD 微波复介电常数 透波窗口材料
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 896-899
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2187字
• 语种: 中文

摘要

使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在沉积功率8 kW条件下,对大面积金刚石膜透波窗口材料进行了制备研究.分别使用扫描电镜、Raman、分光光谱仪、热导率测试仪和空腔谐振法对金刚石膜的表面形貌、品质、光透过率、热导率和微波复介电常数等进行了表征及测试.实验结果表明,使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,能够满足较高功率下高品质金刚石膜的快速沉积；抛光后的自支撑金刚石膜具有高的光学透过率和热导率,在23 ～ 36 GHz频率范围内微波介电损耗小于1×10-4,有着良好的微波介电性能,是较为理想的透波窗口材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
2	唐宾	太原理工大学表面工程研究所	121	953	15.0	23.0
3	贺志勇	太原理工大学表面工程研究所	72	696	15.0	23.0
4	于盛旺	太原理工大学表面工程研究所	27	77	5.0	7.0
6	申艳艳	太原理工大学表面工程研究所	9	38	3.0	6.0
9	刘艳青	北京科技大学材料科学与工程学院	7	61	4.0	7.0