碳纳米涂层材料的二次电子发射系数及工艺研究

• 作者: 崔万照 杨晶 贺永宁
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 纳米碳涂层 电泳沉积 薄膜 二次电子发射 SEY
• 年，卷（期）: 2012,（20）
• 所属期刊栏目: 元器件与应用
• 页码范围: 143-145
• 分类号: TN710-34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2012.20.043

摘要

采用电泳沉积制备薄膜的方法,在铝合金镀银片上均匀的涂覆纳米碳涂层,研究了不同的电泳电压及电泳时间对涂层形貌结构的影响.扫描电子显微镜(SEM)、二次电子发射系数(SEY)测试结果表明,保持阴阳极间距为1 cm,在30 V的直流电压下电泳15 min所获得的样片涂层均匀、连续、致密且具有明显的陷阱结构.实验表明,其SEY最大值σmax达到2.03,对应的入射能量为500 eV,E1能量点在60 eV.使用Ar离子轰击清洗表面10 min后,样片的SEY最大值σmax达到1.76,对应的入射能量Emax为400 eV,E1能重点在80 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺永宁		58	265	9.0	12.0
2	崔万照		43	169	8.0	11.0
3	杨晶		6	32	2.0	5.0