覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析

• 作者: 何世堂 刘明华 王文 谢晓
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 响应机理 水平剪切型声表面波 聚合物敏感膜
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1627-1630
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.12.001

摘要

采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响.计算结果表明,SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化.为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减,在一定的DMMP气体浓度检测范围内,通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	中国科学院声学研究所	81	464	12.0	18.0
2	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
3	刘明华	中国科学院声学研究所	16	84	6.0	9.0
4	谢晓	中国科学院声学研究所	5	16	3.0	4.0